DIN EN 62047-3-2007 半导体器件.微电机设备.第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片

作者:标准资料网 时间:2024-05-06 21:20:25  浏览:9541   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part3:Thinfilmstandardtestpiecefortensile-testing(IEC62047-3:2006);GermanversionEN62047-3:2006
【原文标准名称】:半导体器件.微电机设备.第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片
【标准号】:DINEN62047-3-2007
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2007-02
【实施或试行日期】:2007-02-01
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:组件;材料;微电子学;微系统技术;精密度;特性;试样;半导体器件;规范(验收);标准方法;符号;系统工程;拉伸应变;抗拉试验;试验;试验装置;试验体系;薄膜;薄膜器件;薄膜技术
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40;L94
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:9P.;A4
【正文语种】:德语